thesis

Contribution a l'etude des interfaces dans les structures mim et mis : spectroscopie tunnel sur fluorure d'aluminium, etude de l'interface si-sio2 par deux methodes classiques et par spectroscopie tunnel

Defense date:

Jan. 1, 1987

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Institution:

Reims

Disciplines:

Applied sciences

Authors:

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Abstract EN:

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Abstract FR:

Etude de la chimisorption des acides et des bases sur un nouvel isolant, le fluorure d'aluminium par utilisation de l'effet tunnel inelastique. Caracterisation de capacites mos obtenues par oxydations thermiques seche, humides et depot lpcvd. (on a utilise les techniques de conductance et la methode quasi-statique). Experimentation de l'interface si-sio2 par spectroscopie tunnel grace a des echantillons metal-oxyde-silicium degenere