Abstract FR:

Dans le cadre de l'optimisation du procede de lithographie ionique, nous etudions l'autodeveloppement de resines par le biais de l'interaction ion-matiere. Deux polymeres de proprietes physico-chimiques tres differentes, le nitrate de cellulose et le polyamidoimide sont alors systematiquement irradies et analyses par spectrometrie de masse des ions secondaires et spectrometrie infrarouge a basse temperature, afin de determiner les mecanismes les plus probables des modifications induites. Nous proposons alors un modele mathematique permettant de simuler la vitesse d'autodeveloppement du nitrate de cellulose et nous l'utilisons pour une application a l'implantation ionique de substrats au travers de resines. Le volet instrumental est aborde par la fabrication d'un prototype de machine lithographique polyvalente basee sur le principe de projection ionique. Les resultats preliminaires obtenus a l'aide de cette colonne utilisant une source ionique a metal liquide et des lentilles electrostatiques, sont exposes et les perspectives d'utilisations soulignees