Abstract FR:

Ce mémoire traite de l'influence de la topographie de surface sur le cœfficient de qualité Q de résonateurs à quartz. Les états de surface sont obtenus par un usinage chimique anisotrope qui modifie à la fois l'aspect géométrique de la surface et la forme générale du résonateur. La lenteur de dissolution dépendant de l'orientation de la coupe, une analyse tensorielle de la dissolution a été développée pour simuler les effets de surface et les formes des sections usinées. En tenant compte que pour certaines coupes la surface usinée peut-être décomposée en une succession de facettes triangulaires de diverses orientations, une étude théorique qui prend en compte l'anisotropie du matériau a permis d'exprimerl'atténuation des ondes accoustiques résultant de la réflexion sur des surfaces rugueuses. Le cœfficient de qualité corrélé à cette atténuation dépend du critère de rugosité Rq et de la taille moyenne des facettes. Une étude expérimentale systématique de l'évolution du cœfficient de qualité avec les états géométriques de surface a été effectué sur des résonateurs à 5 MHz et 40 MHz. Elle a montré un bon accord entre théorie et expérience dès que la taille des motifs n'est pas trop petite devant la longueur d'onde.