thesis

Science des materiaux et techniques du reacteur dans le depot par procede plasma rf de photopiles et d'autres dispositifs en silicium amorphe hydrogene

Defense date:

Jan. 1, 1988

Edit

Institution:

Paris 7

Disciplines:

Applied sciences

Authors:

Directors:

Abstract EN:

Pas de résumé disponible.

Abstract FR:

Procede de fabrication de a-si:h dans un reacteur multiplasma-monochambre. Etude physicochimique du plasma de silane. Caracterisation du a-si:h produit et correlations entre les conditions de preparation et les proprietes du materiau. Production et caracterisation du materiau dope. Caracterisation des cellules solaires p-i-n fabriquees dans le reacteur arcam, avec des rendements de 8,5% pour des structures non optimisees