Abstract FR:

Cette these a porte sur l'etude des milieux pour la nitruration des surfaces metalliques dans l'ecoulement d'une decharge micro-onde a 2450 mhz et 180 w, dans l'azote pur ou dans des melanges azote-methane. Ainsi, dans l'experience presente, un reacteur en post-decharge micro-onde en ecoulement gazeux est developpe et utilise. Une attention particuliere est porte sur l'etude de la zone d'ecoulement du reacteur et sur l'etude du transport des especes actives de la source vers la zone de traitement des substrats. Pour caracteriser l'emission de la post-decharge de l'azote, son etude spectroscopique est entreprise. Pour detecter les atomes d'azote, molecules et radicaux, ainsi que pour mesurer leurs densites et suivre l'evolution de ces densites dans la post-decharge d'azote de methane et des melanges azote-methane, la spectrometrie de masse est employee. La these est composee d'une introduction, de six chapitres, d'une conclusion et de cinq annexes. Elle comporte 163 pages, 47 figures, 15 tables et 85 citations bibliographiques. Le montage experimental est decrit dans le chapitre i. Le chapitre ii est consacre a la description des conditions operatoires. Le chapitre iii est consacre a l'etude spectroscopique de la post-decharge d'azote. Le chapitre iv est consacre a la reproduction des resultats de mesure des concentrations d'atomes d'azote dans la post-decharge de l'azote par spectrometrie de masse, a l'interpretation de ces resultats et a leur comparaison avec ceux de la litterature. Dans le chapitre v, sont exposes les resultats experimentaux de l'etude de la composition de la post-decharge du methane pur avec l'interpretation de ces resultats et leur comparaison avec ceux de la litterature. Enfin, le chapitre vi est consacre a l'etude de la post-decharge des melanges azote-methane, a l'interpretation des resultats de cette etude et a leur comparaison avec ceux de la litterature. Les methodes de mesures utilisees sont developpees en detail dans les annexes a, b, c, d, et e.