Abstract FR:

Les revetements d'oxyde de titane ont ete deposes sur des films de polyterephtalate d'ethylene glycol (pet) par pulverisation cathodique a effet magnetron dans un plasma argon-oxygene a partir d'une cible de titane et dans un plasma d'argon a partir d'une cible d'oxyde de titane. La dependance des proprietes structurales, de la composition, des proprietes optiques et des contraintes en fonction des parametres de pulverisation (puissance r. F. , pression totale, pression partielle d'oxygene, tension de polarisation du substrat) a ete examinee. Un traitement de surface du pet par differents plasmas froids a ete effectue afin d'optimiser l'adhesion des revetements d'oxyde de titane. Les meilleurs resultats ont ete obtenus avec un plasma de dioxyde de carbone. L'adhesion des revetements depend egalement fortement des conditions de depot. Les valeurs les plus elevees sont obtenues lorsque les revetements d'oxyde de titane sont elabores par pulverisation reactive a des puissances r. F. Moderees et a des pressions totales relativement faibles. L'analyse de l'interface pet / oxyde de titane par spectroscopie x. P. S. A permis de mettre en evidence une interaction chimique, entre le polymere et le depot obtenu par pulverisation reactive, qui se traduit par la formation de liaisons covalentes ti-o-c. L'etude des proprietes barriere de nos assemblages a la diffusion des gaz (o#2, co#2, n#2) et aux rayonnements ultraviolets, montre que les revetements d'oxyde de titane permettent de reduire d'un facteur dix-huit la permeabilite aux gaz et de limiter l'oxydation du pet d'un facteur vingt-cinq.