Abstract FR:

Cette etude se rapporte a la nitruration d'echantillons metalliques dans l'ecoulement d'une decharge micro-onde d'azote ou d'argon-azote, creee et entretenue par onde de surface (2450 mhz). La premiere partie concerne la caracterisation et la modelisation de la post-decharge. La nature et le regime de l'ecoulement gazeux sont etablis, ainsi que les gradients de pression et les profils de vitesse du gaz qui en decoulent (chapitre 1). Le chapitre 2 presente les resultats d'une etude spectroscopique de la post-decharge. Deux regimes de fonctionnement sont mis en evidence: la post-decharge de lewis-raylegh (recombinaison des atomes d'azote), et la pink afterglow (re-ionisation du gaz due aux collisions entre molecules excitees). Les mecanismes d'apparition de cette derniere sont abordes: temps de retard par rapport a la fin de la decharge compris entre 3-5 msec (n#2 pur) et 20 msec (ar-50% n#2), densites electroniques de quelques 10#8 a quelques 10#9 cm##3. La determination du profil de temperature dans le systeme permet d'affiner les calculs du chapitre 1. Une modelisation cinetique simple du transport des atomes d'azote le long de la post-decharge est exposee dans le chapitre 3, pour les differents regimes de post-decharge. Les resultats sont compares aux profils experimentaux |n|(z), mesures le long de l'ecoulement par titration no. La deuxieme partie est consacree a la recherche de correlations entre les divers elements d'un appareil de traitement en post-decharge. Les resultats d'experiences de nitruration sont presentes et discutes au chapitre 4. Le chapitre 5 se rapporte a la description de la source (decharge micro-onde): des abaques sont mises en place afin d'extrapoler ses caracteristiques a des conditions experimentales differentes de celles de l'etude