Abstract FR:

Un procede cvd (chemical vapor deposition) est applique a la synthese du verre fluore zblan ou de ses constituants. Les precurseurs des metaux zr, ba, la, al et na sont des complexes de beta-dicetones. Nous les avons synthetises et caracterises aussi completement que possible (dosage, ir, rmn, rx, atg). Nous rappelons leurs proprietes thermiques qui forment le facteur determinant quant a leur utilisation comme precurseur cvd: la volatilisation de al(dpm)#3, na(hpm) et la(dpm)#3 est rapide et pratiquement quantitative a 220c, 240c et 280c, respectivement. Dans le cas de al(dpm)#3, une etude thermique par atg nous a conduit a son enthalpie apparente de sublimation: 25 kcal/mole; zr(dpm)#4 est trop peu volatil sur la gamme 200-300c ou nous avons situe notre etude; zr(dpm)#3cl et ba(hpm)#2 se decomposent presque totalement au chauffage. La mise en uvre du procede apcvd nous a permis de synthetiser les fluorures alf#3, laf#3 et naf par reaction entre le gaz fluorant (hf ou nf#3) et les vapeurs de l'organometallique approprie. En partant d'un melange equimolaire des trois complexes metalliques, le depot d'un ternaire fluore non homogene en composition a ete obtenu. L'analyse des fluorures formes, par les techniques de microscopie a balayage et a transmission, montre qu'ils sont d'une maniere generale pollues par des residus carbones. Au cours de cette etude, nous avons egalement: isole deux nouvelles phases: na(hpm). 1/2dmf et zr(dpm)#3cl, determine les structures cristallines de zr(dpm)#3cl et de al(dpm)#3. Ces deux composes ont des structures moleculaires et cristallisent dans une maille monoclinique. La cohesion du reseau forme par l'arrangement de leurs molecules est tridimensionnelle pour al(dpm)#3 et bidimensionnelle dans le cas de zr(dpm)#3cl