Abstract FR:

L'utilisation des post-décharges pour la nitruration des aciers a permis d'obtenir des résultats performants et d'identifier les espèces responsables du processus de nitruration (N, N#2(X,V)). La nitruration par plasma continu pulsé basse fréquence est un nouveau procédé que nous avons mis au point. Les espèces activés sont créées pendant la phase d'allumage. La réaction de nitruration se poursuit durant la phase d'extinction (post-décharge). Le diagnostic de la décharge et de la post-décharge est réalisé par sonde électrostatique et spectroscopie optique d'émission. Nous avons mis au point le générateur pulsé ainsi que le système de mesure et d'acquisition des données, synchronisé avec le pulse de décharge. Le traitement et l'exploitation des données sont réalisés par un logiciel que nous avons développé. L'étude de l'évolution temporelle de la densité électronique par sonde électrostatique en post-décharge a permis de déterminer le coefficient de recombinaison électron-ion de l'azote. Celui-ci est modifié par l'introduction d'hydrogène dans la décharge. L'étude par spectroscopie optique d'émission montre la persistance des états excités de l'azote en post-décharge. L'excitation est maximale pour un pourcentage d'hydrogène de 12%. La caractérisation des nitrures par diffraction au R-X et microscopie optique montre une croissance de l'épaisseur des couches des nitrures avec la puissance plasma. Celle-ci passe par un maximum pour 12 % d'hydrogène