Abstract FR:

Une nouvelle methode d'imagerie sur objets massifs est presentee. L'impact d'un faisceau d'electrons module en intensite genere des ondes elastiques dans un solide. Les ondes acoustiques ainsi creees par effet thermoelastique sont detectees et en associant le signal correspondant au balayage du faisceau electronique, on obtient des images de la subsurface de l'objet. L'ensemble realise un microscope acoustoelectronique a balayage. La premiere partie du memoire est consacree a l'etude du mini microscope electronique a balayage transportable, travaillant in situ sur objets massifs. Ensuite, apres une analyse comparative du dispositif propose avec le microscope acoustique conventionnel, le memoire detaille le montage experimental. On etudie en particulier les modifications apportees au mini microscope electronique a balayage qui permettent d'obtenir un systeme d'imagerie acousto-electronique. La troisieme partie est consacree a l'etude theorique de la generation du signal acoustique par effet thermoelastique ainsi qu'aux mecanismes de contraste des images obtenues. Le pouvoir de resolution de la methode est calcule et peut atteindre 10 m environ pour des frequences de modulation inferieures a 100 khz. Le chapitre suivant analyse les problemes lies a la detection du signal, en particulier les performances du capteur piezoelectrique utilise. La chaine d'acquisition, d'amplification et de traitement du signal image est etudiee. La derniere partie du memoire analyse les resultats obtenus sur objets massifs. Les images presentees demontrent l'utilite du microscope acousto-electronique en controle non destructif notamment avec l'obtention de details situes 100 m sous la surface de l'objet