thesis

Analyse par interferometrie holographique du champ thermique d'un réacteur de dépôt chimique en phase gazeuse

Defense date:

Jan. 1, 1987

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Institution:

Perpignan

Disciplines:

Applied sciences

Authors:

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Abstract EN:

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Abstract FR:

Les profils de temperature autour d'un substrat cylindrique ont ete obtenus pour des gaz neutres: ar, n::(2), avec une temperature de surface comprise entre 800 et 1200**(o)c et une pression totale dans le reacteur variant de 30 a 80 kpa. Une modelisation des profils de temperature est presentee dans le cas d'un echantillon cylindrique