thesis

Etude des mecanismes de nitruration du titane massif et des films minces de titane, dans un reacteur plasma basse pression hors equilibre, en atmosphere d'ammoniac

Defense date:

Jan. 1, 1988

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Institution:

Paris 6

Disciplines:

Applied sciences

Authors:

Directors:

Abstract EN:

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Abstract FR:

Identification des especes reactives excitees, par spectroscopie d'emission. Determination de la vitesse de dissociation de nh#3 par chromatographie en phase gazeuse. Etude cinetique permettant de definir les mecanismes de formation de tin. Evolution des proprietes electriques de la surface. Mise en evidence de deux processus en competition: la nitruration de la surface du film et la siliciuration a l'interface si/ti. L'analyse spectroscopique du plasma a montre que l'interface plasma/surface est le site d'un processus de recombinaison heterogene