Propagation des ondes de surface transverses en milieu piezoelectrique : application aux resonateurs haute frequence
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BesançonDisciplines:
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On se propose dans ce memoire d'etudier les proprietes de propagation de l'onde de surface transverse (stw) en regime lineaire. Cette onde elastique est obtenue a partir du piegeage du mode de volume rampant, de polarisation transverse horizontale grace a une serie de discontinuites de type sillons graves ou bandes metalliques deposees a la surface du substrat. De telles ondes s'averent tres interessantes puisqu'elles possedent une vitesse de phase jusqu'a 60% superieure a celle de l'onde de rayleigh dans le cas du quartz. De plus, il existe des coupes cristallines compensees en temperature pour ces modes. L'etude theorique a ete developpee dans le cas de cristaux de symetrie identique a celle du quartz et a permis d'etablir les conditions aux limites mecaniques et electriques a la surface d'un dispositif a ondes stw en tenant compte de la piezoelectricite du cristal. Un modele complet de calcul de frequence de resonance d'une structure a trois reseaux a pu ainsi etre mis en uvre et les resultats obtenus sont confrontes a la realite par l'intermediaire de differents dispositifs experimentaux ou de travaux deja publies. Les effets thermiques du premier ordre sont egalement modelises a l'aide d'une methode de perturbation et confirment l'existence de coupes de quartz a simple rotation compensees en temperature