Proprietes physiques et qualite des condensateurs electroniques au tantale
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Les travaux presentes dans cette these sont effectues avec l'optique d'ameliorer la qualite des condensateurs electrochimiques au tantale en production industrielle. L'effet du traitement thermique le plus dommageable au cours du processus industriel (400#c, a l'air), sur la couche de ta#2o#5 et sur l'interface ta#2p#5/ta est etudie par analyse xps associee a des mesures de capacite en liquide. Il est montre que l'effet de ce recuit se traduit par un recul total de l'interface ta#2o#5/ta de pres de 10% dans certains cas et donc par une degradation des qualites dielectriques de la couche d'oxyde. Les faiblesses mecaniques de la couche de ta#2o#5 sont responsables du vieillissement premature du condensateur. Nous avons mis en evidence des zones de faiblesses aux droits des joints de grains du tantale. La qualite electrique (resistance serie equivalente, rse) de la seconde electrode en mno#2 depend de la porosite et de la bonne impregnation de l'anode frittee. Cette derniere a ete etudiee au meb et par des methodes de pesee d'anode. Un modele a ete developpe, ce qui permet de proposer une modification du processus d'elaboration sous la forme d'une etape supplementaire. Ce modele permet, de plus, d'estimer la rse des condensateurs formes, ce qui est d'un interet direct d'un point de vue industriel