thesis
Optimisation du calcul et de la fabrication par microlithographie d'optiques diffractives numeriques pour leur integration dans des micro-systemes. Une approche de cao/cfao
Institution:
Université Louis Pasteur (Strasbourg) (1971-2008)Disciplines:
Directors:
Abstract EN:
Pas de résumé disponible.
Abstract FR:
Le but de cette these est de proposer des bases conceptuelles pour l'elaboration d'un logiciel de cao pour le calcul, la simulation et la fabrication d'optiques diffractives numeriques sous contraintes technologiques, et en particulier de nature microlithographiques