Conception, realisation et caracterisation d'un modulateur optique en reflexion sur silicium a 1,3 et 1,5 micro-metres
Institution:
Paris 7Disciplines:
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Le modulateur optique trouve son application dans le cadre d'un reseau de telecommunications, au sein d'un module d'emission-reception. (ex: poste emetteur-recepteur chez l'abonne d'un reseau telephonique, informatique, domotique,) le principe de fonctionnement du modulateur repose sur la modification de la fonction dielectrique du materiau silicium (indice de refraction et coefficient d'absorption) par injection de porteurs. Un interferometre de mach-zehnder en reflexion est realise sur le trajet d'un faisceau optique 1,3 ou 1,5 microns, d'intensite constante. Les zones intrinseques de deux diodes pin constituent les deux bras de l'interferometre. On y controle l'injection de trous et d'electrons et donc l'intensite du signal optique en sortie du mach-zehnder. Les bandes passantes d'emission et de reception mesurees sur les premiers prototypes pour un indice de modulation de 20% sont de 10 et 250 mhz respectivement. L'aspect faible cout de la realisation de ce composant d'optique integree, sa compatibilite de fabrication avec les technologies de micro-electronique classique sur silicium permettent d'envisager la realisation d'un micro-systeme monolithique (optique active-electronique de commande) qui rendra ce composant competitif en regard des systemes hybrides (modulateur sur niobate de lithium, laser a semiconducteur a l'alterna,) actuellement a l'etude