thesis

Caracterisation electrique des films de polyamide-imide et de leurs interfaces avec un substrat semiconducteur

Defense date:

Jan. 1, 1988

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Institution:

Toulouse 3

Disciplines:

Applied sciences

Authors:

Directors:

Abstract EN:

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Abstract FR:

Preparation de couches minces par pelliculage sur substrat de verre metallique ou semiconducteur. L'adherence se fait par des liaisons chimiques; les films resistent a la gravure par plasma fluore. Mecanisme de la conduction electrique