Abstract FR:

L'experience acquise a l'onera en matiere d'action et de detection capacitives permet la realisation d'oscillateurs utilisant des resonateurs en materiaux non piezoelectriques. Le materiau silicium a ete choisi, pour son faible amortissement mecanique ainsi que pour ses qualites de semiconducteur autorisant dans l'avenir l'integration d'une electronique de commande au voisinage du resonateur. Le mode de vibration est un mode de contour dans une plaque carree appele mode de lame. En l'absence de precautions particulieres, les pertes par les supports constituent la source principale de dissipation d'energie. Il s'est avere necessaire de definir un type de fixation qui minimise le couplage support element vibrant. Des methodes de calcul par elements finis ont ete dans ce but largement utilisees. Apres les etudes theoriques et experimentales du resonateur en silicium (sensibilite a la temperature, a la pression), nous avons realise et caracterise ce nouvel oscillateur