thesis

Etude in-situ des proprietes electriques des films de polysiloxane deposee par plasma froid

Defense date:

Jan. 1, 1986

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Institution:

Toulouse 3

Disciplines:

Directors:

Abstract EN:

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Abstract FR:

Synthese et proprietes electriques de films minces (d<1 mu m) de polysiloxane deposes par decharge luminescente (1 khz<f<13,57 mhz dans une vapeur monomere basse pression (0,1 mbar<p<0,6 mbar).