Abstract FR:

Les résonateurs à ondes de surface sont constitués d'un substrat de quartz sur lequel on réalise par métallisation ou gravure, des réseaux de discontinuité et des transducteurs sous forme de couche mince. Les interfaces substrat/couche mince et substrat/milieu environnant sont le siège de phénomènes physico-chimiques qui limitent les performances en stabilité a long terme des oscillateurs a ondes de surface. L'étude de la dérive par différentes méthodes (analyse spectrale, plans d'expériences, modélisation), permet d'identifier les causes de fluctuations et de dérive de fréquence et les processus de vieillissement. L'objectif final est de définir, pour la fabrication et le montage des résonateurs, les processus technologiques qui conviendraient pour une bonne stabilité a long terme des oscillateurs à résonateur à ondes de surface