thesis

Optimisation des traitements de gaas et gaas sur si par recuit thermique rapide a base de lampes halogenes

Defense date:

Jan. 1, 1989

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Institution:

Strasbourg 1

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Abstract EN:

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Abstract FR:

Une technique de recuit thermique rapide par lampes halogenes a ete mise au point. Son application pour deux etapes technologiques de la fabrication des composants en arseniure de gallium a ete testee: activation d'ions implantes et guerison de defauts de croissance d'heterostructures. Par cette technique, des couches actives de type a et des transitors ont pu etre realises