Abstract FR:

Nous avons etudie l'influence des parametres du plasma (temps, puissance, pression, et flux gazeux) sur la degradation et la fonctionnalisation des molecules modeles: hexatriacontane (c#3#6h#1#4) et octadecanoate d'octadecyle (ood) et leurs polymeres correspondants: polyethylene haute densite (pehd) et polycaprolactone (pc) traites in situ dans les plasmas rf d'oxygene et d'argon. Il a ete observe que la degradation est beaucoup plus importante dans l'oxygene que dans l'argon et que la presence des fonctions ester augmente largement les vitesses de degradation. H#2, h#2o, co et co#2 sont les principaux produits de degradation dans un plasma d'oxygene et h#2 et ch dans l'argon. Leurs concentrations et intensites d'emission sont en accord avec les vitesses de degradation relatives. Un mecanisme a ete propose pour expliquer leur formation. La degradation et l'etat initial de surface contribuent a la variation de la topographie. Un plasma d'argon est plus efficace pour l'incorporation d'oxygene sur les molecules modeles tandis que pour les polymeres, c'est un plasma d'oxgene qui est le plus performant. La fonctionnalisation n'est pas homogene dans la profondeur, ce qui indique la contribution d'un processus de diffusion. Quelques experiences ont montre que la fonctionnalisation est plus importante dans le traitement en post-decharge d'un plasma microonde d'oxygene