Abstract FR:

Ce travail entre dans le cadre d'un projet industriel dont la finalite est la realisation d'un microsysteme pour une application de controle non destructif dans l'inspection de tuyauteries de petit diametre. Au debut, nous nous efforcons de decrire les problemes rencontres dans l'industrie et dans le domaine medical, en matiere d'inspection et de diagnostic, puis de presenter les solutions actuellement sur le marche. Nous presentons ensuite les idees que nous avons explorees au premier stade du projet, sur les options, optiques, ultrasoniques, et courants de foucault. Nous developpons enfin le domaine precis de notre travail l'inspection par courants de foucault et rappelons quelques specifications essentielles de l'objectif poursuivi. Nous presentons tout d'abord un travail d'analyse des differents composants du microsysteme capteur electromagnetique, traitement analogique du signal, conversion analogique/numerique et multiplexage. Ensuite nous developpons le travail de conception des capteurs a courant de foucault et de l'electronique du traitement du signal associee. L'approche est aujourd'hui classique : modelisation des differents constituants et simulation sur logiciel specialise : spice, eldo, saber. L'originalite principale decoule des choix technologiques. Sur cette base deux realisations ont ete lancees. L'une avec l'appui industriel, sur l'assemblage d'une tete complete de 32 elements (32 bobines, 32 amplificateurs). L'autre, dans le cadre du laas sur l'integration d'un element complet monolithique sur silicium : bobine-amplificateur. On decrit les technologies de fabrication appliquees dans les 2 cas precedents : assemblage 3d sur film souple pour le 1er cas ; utilisation d'une fonderie silicium et procedure cmp (chip multi projet), pour le 2eme cas. Finalement nous presentons des resultats experimentaux obtenus pour les differents microsystemes que nous avons realises. Conclusions et perspectives qui s'ouvrent dans ce travail aux plans, theorique, technologique et industriel, achevent cette presentation.