Abstract FR:

Afin de reduire la forte permeabilite a l'oxygene de films plastiques tels le polypropylene (pp), des couches barrieres ont ete deposees par plasma froid basse frequence a partir d'un melange gazeux d'hexamethyldisiloxane (hmdso) et d'oxygene (o 2). Le substrat utilise est un film de pp de 0,018 mm d'epaisseur. Pour changer la nature des depots d'une epaisseur d'environ 100 nm, les parametres plasma modifies sont la puissance p d apportee au plasma, le pourcentage d'o 2 dans le melange gazeux (90 et 96%) et la pression gazeuse (40 et 75 mtorr). Un substrat de silicium place sur le film permet de mesurer l'epaisseur deposee et de realiser une analyse physico-chimique par spectroscopie infrarouge a transformee de fourier. La permeabilite a l'o 2, ou plutot le flux d'o 2 traversant les couches ainsi elaborees est teste grace a un dispositif utilisant une chromatographie en phase gazeuse. L'augmentation de p d conduit a une reduction du flux d'o 2 (facteur 33) a 40 mtorr et a une legere croissance a 75 mtorr. La meilleure couche barriere est obtenue a 75 mtorr, 96% d'o 2 et faible puissance, avec une reduction d'un facteur 45. La composition chimique du depot passe d'un type polysiloxane (sio xc yh z) a un type sio x, perdant peu a peu sa phase organique. A 75 mtorr, les couches sont inorganiques des faible puissance. La structure de la couche se modifie elle aussi, les depots se densifient et presentent un fort degre de reticulation. D'apres le principe de solution-diffusion qui regit la permeabilite, la reduction du volume libre atomique associee a une diminution de la mobilite des segments de chaines polymeres sont responsables de ces resultats. La presence d'un pic ir lie a du co 2 piege dans les couches corrobore cela. Enfin, une meme couche deposee sur differents substrats donne des proprietes barrieres differentes. Via une balance a quartz, une etude de l'adsorption de divers gaz a ete conduite sur des depots flash et long, eux-memes elabores sur differents substrats.