Nano-impression : etude du procede et application dans le domaine du nanomgnetisme
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Paris 7Disciplines:
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Abstract FR:
Ce travail est base sur une nouvelle technologie de nanofabrication, la nano-impression, qui permet de reproduire des nanostructures sur une grande surface. Nous nous interessons particulierement a la realisation de nanostructures magnetiques et a l'etude de leurs proprietes physiques. La presentation de la these est divisee en deux parties. Dans la premiere partie, le procede de fabrication a ete etudie en fonction de la temperature, de la pression et de la duree d'impression. En particulier, l'influence de la geometrie des motifs a ete analysee theoriquement et experimentalement permettant ainsi d'eclairer certaines conditions optimales pour la nano-impression. Afin de realiser des structures de tres haute resolution et de grand facteur de forme, un nouveau procede de fabrication, utilisant une technique de tri-couche, a ete mis au point. Enfin, les problemes d'homogeneite, de controle de taille critique, de reproductibilite et de precision de positionnement ont ete examines en etudiant les performances de la nano-impression sur des plaquettes de 4 pouces. La simplicite et la rapidite du procede de fabrication developpe nous ont permis dans la deuxieme partie de cette these de realiser une etude systematique de nanostructures magnetiques de differentes tailles et de differentes epaisseurs. En premier lieu, des plots de coni/pt a aimantation perpendiculaire au plan du film ont ete etudies, validant le procede de fabrication par nano-impression. En second lieu, des plots et des anneaux de cobalt polycristallin a aimantation parallele au plan du film ont ete etudies. Par des mesures d'effet kerr magneto-optique et de microscopie a force magnetique, nous avons observe des etats quasi-monodomaines et des etats vortex. Le diagramme de phase des etats de magnetisation a ete determine en fonction de la taille et de l'epaisseur pour les deux types de structures. Ces resultats sont en accord qualitatif avec des simulations bases sur le principe du micro-magnetisme.