Abstract FR:

Cette étude s'inscrit dans le cadre de développement des circuits intégrés de puissance suivant le concept de l'intégration fonctionnelle ou asd t m (application specific discrete) et a pour objectif la mise en place d'un test paramétrique dans une technologie de 10 m. Le test paramétrique doit permettre, en fin de processus de fabrication, le contrôle systématique de grandeurs électriques pertinentes caractéristiques d'une filière technologique. Il s'agit d'un test par prise de contact sous pointes, directement sur la plaquette de composants. Notre démarche a consisté d'une part à rechercher et concevoir des motifs de test adaptes à l'extraction des paramètres physiques représentatifs de la filière technologique asd2 (deuxième génération) et d'autre part à définir la métrologie et les procédures de test associées. Trois critères ont été retenus par l'industriel intéressé par cette étude : 1. L'intégrité et la fiabilité des diélectriques d'isolation ou de grille ; 2. Le contrôle de la résistance de contact aluminium-silicium ; 3. Le contrôle de la durée de vie des porteurs minoritaires dans les jonctions bipolaires.